Grenzen durchbrechen mit
Alpha Plasma

Der Inhaber und Geschäftsführer, Hans-Dieter Voss (Physik Ing.), blickt auf mehr als 35 Jahre Erfahrung im Bereich Plasmatechnologie, Niederdruckpolymeerbeschichtung und deren Entwicklung zurück.

Profitieren auch Sie von unserer Erfahrung und fachlichen Know-How

Lassen Sie sich von unseren Experten beraten.

Schon oft konnten wir Maschinen und Anlagen nach Maß fertigen, von denen unsere Kunden dachten, dass sie nicht realisierbar sind.

Gerne entwickeln wir eine maßgeschneiderte Lösung, die perfekt zu Ihren Anforderungen passt.

Wir entwickeln Ihre Lösung sowohl auf Anlagen- als auch auf Prozessseite.

Unsere leistungsstarken Plasma-System und besondere Zubehöre

Plasma Anlagen:

Plasmaanlagen der Serie AL

AL steht für Aluminiumkammer. Sie findet ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik, Solar-, Kunststoff- und Elektronikindustrie.

AL 76 Tabletop Unit

Ein platzsparendes System, das für kleinere Produktionsstätten und Labors entwickelt wurde.

AL140 / AL160 / AL300

Bietet 3 Optionen für die Kammergröße, abhängig von der Größe der Substrate oder der erforderlichen Prozessgeschwindigkeit.

AL 235

Mit automatischer Tür und verstellbarer Arbeitshöhe zum leichteren Beladen.

AL 800 Compact

Das absolut größte AL-System, das wir zu bieten haben. Für die größten Substrate und Mengen.

Q150 (Tabletop Unit)

Leicht zu bedienen und einfach zu laden. Unsere Q-Serie bietet schnelle und zuverlässige Plasmabearbeitung.

Q 240S

Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen.

Q 240

Das größte System in unserer Q-Serie. Perfekt für mehrere Wafer mit Größen bis zu 200 mm Durchmesser.

Besondere Zubehöre:

ECR-Gestell

Konzentrierte, effektivere Oberflächenbehandlung und Plasmaerzeugung.

Heiztisch

Dieser Tisch ermöglicht es den darauf platzierten Substraten, während der Beschichtung oder Plasmabehandlung über einem bestimmten Temperaturniveau zu bleiben.

Kühltisch

Ähnlich wie beim Heiztisch, ermöglicht dieses Extra, die Substrate bei Bedarf zu kühlen bzw. während der Behandlung an einem bestimmten Temperaturniveau zu halten.

Wafer-Halter

Wir bieten verschiedene Größen von Wafer-Haltern an, die auf unseren Heiz-/Kühltischen platziert werden können.

Unser Anlagenproduktkatalog

Laden Sie unseren Produktkatalog herunter, indem Sie auf den nachfolgenden Button „PRODUKTKATALOG DOWNLOADEN“ klicken.

Kontakt aufnehmen und Beratung erhalten

Wenn Sie Fragen zu unseren Leistungen und Angeboten haben, können Sie das folgende Formular nutzen! Wir werden uns umgehend bei Ihnen melden.

Plasma Parylene Systems GmbH

Dorfstr. 3 , 83026 Rosenheim / Pang

Zertifiziert nach

DIN EN ISO 9001:2015
DIN EN ISO 13485:2016

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