Durch die Pyrolyse des Gases wird im nächsten Schritt angestrebt, die monomere Form des Dimers aufzuspalten.
Schlussendlich wird das Gas unter Raumtemperatur innerhalb einer Beschichtungskammer abgeschieden.
Auf den Oberflächen bleibt so ein transparenter und zudem sehr dünner und homogener Polymerfilm übrig.

• Abscheideraten > 0,007mm/h
• Schichtdicken 0.1 bis 100 µm
• Primer und Dimer ( Rohstoffe C,N,D,F,AF4 )