Plasmaanlagen der Serie AL
AL steht für Aluminiumkammer. Sie findet ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik, Solar-, Kunststoff- und Elektronikindustrie.
Der Inhaber und Geschäftsführer, Hans-Dieter Voss (Physik Ing.), blickt auf mehr als 35 Jahre Erfahrung im Bereich Plasmatechnologie, Niederdruckpolymeerbeschichtung und deren Entwicklung zurück.
Lassen Sie sich von unseren Experten beraten.
Schon oft konnten wir Maschinen und Anlagen nach Maß fertigen, von denen unsere Kunden dachten, dass sie nicht realisierbar sind.
Gerne entwickeln wir eine maßgeschneiderte Lösung, die perfekt zu Ihren Anforderungen passt.
Wir entwickeln Ihre Lösung sowohl auf Anlagen- als auch auf Prozessseite.
AL steht für Aluminiumkammer. Sie findet ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik, Solar-, Kunststoff- und Elektronikindustrie.
Unser kleinstes AL-System.
Ein 19-Zoll-Rack mit zwei Frequenzen für die Polymerisation.
Etwas größere Version des AL18 mit mehr Optionen und Ladevolumen.
Ein platzsparendes System, das für kleinere Produktionsstätten und Labors entwickelt wurde.
Ideal für mittelgroße Substrate oder PCB-Platten.
Bietet 3 Optionen für die Kammergröße, abhängig von der Größe der Substrate oder der erforderlichen Prozessgeschwindigkeit.
Mit automatischer Tür und verstellbarer Arbeitshöhe zum leichteren Beladen.
Das absolut größte AL-System, das wir zu bieten haben. Für die größten Substrate und Mengen.
Das Q steht für Quarzglaskammer.
Leicht zu bedienen und einfach zu laden. Unsere Q-Serie bietet schnelle und zuverlässige Plasmabearbeitung.
Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240S, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen.
Das größte System in unserer Q-Serie. Perfekt für mehrere Wafer mit Größen bis zu 200 mm Durchmesser.
Modifizierte Maschine.
![AL900[1]](https://plasmaparylene.de/wp-content/uploads/2023/07/AL9001-400x400.jpg "AL900[1]")
Konzentrierte, effektivere Oberflächenbehandlung und Plasmaerzeugung.
Dieser Tisch ermöglicht es den darauf platzierten Substraten, während der Beschichtung oder Plasmabehandlung über einem bestimmten Temperaturniveau zu bleiben.
Ähnlich wie beim Heiztisch, ermöglicht dieses Extra, die Substrate bei Bedarf zu kühlen bzw. während der Behandlung an einem bestimmten Temperaturniveau zu halten.
Wir bieten verschiedene Größen von Wafer-Haltern an, die auf unseren Heiz-/Kühltischen platziert werden können.
Laden Sie unseren Produktkatalog herunter, indem Sie auf den nachfolgenden Button „PRODUKTKATALOG DOWNLOADEN“ klicken.
Wenn Sie Fragen zu unseren Leistungen und Angeboten haben, können Sie das folgende Formular nutzen! Wir werden uns umgehend bei Ihnen melden.
© 2022 – Plasma Parylene Systems GmbH – Alle Rechte vorbehalten.