AL 76/AL 100 Compact

Ideal für mittelgroße Substrate oder PCB-Platten.

Maße:	L: 1050mm B: 800mm H: 2020mm
Gewicht:	95 KG
Volumen:	76/100 Liter
Kammer:	Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 520mm
Mikrowellenausgang:	2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
Inklusive:	1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
Substrathalterung (optional):	Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung:	DN 63 ISO-KF
Belüftung:	elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem:	bis zu 250m³/h (integriert)
Kammertür:	Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür

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