Modifizierte Maschine, in größeren Dimensionen.
Maße: | L: 1800mm B: 1500mm H: 1700mm |
Gewicht: | 620 KG |
Volumen | 900 Liter |
Kammer: | Aluminium mit Elektronenkäfig |
Leiterplatten: bis zu 18 Platten mit 18x24" oder 20x24" | |
LF-Ausgang: | Betriebsfrequenz = 40 KHz, bis zu 10 kW |
Steuerung: | Temperatur Control Active |
Inklusive: | 3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 7 Gaskanäle möglich) |
Substrathalterung: | Aluminium, angepasstes Design möglich |
Vakuumverbindung: | DN 250 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | bis zu 600m³/h |
Kammertür: | Schwenktür mit Fenster |
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