Ein preiswertes System mit austauschbarer Prozesskammer.
Keine Plasmaquelle möglich.
Flexibler Standort dank kompakter Größe, verfahrbarem Gestell und kleinerer Kühlfalle.
Insbesondere geeignet für kleinere Produktionen und Laborbetrieb.
Austauschbare Vakuumkammer zur einfacheren Reinigung des Systems.
Abnehmbarer, durchsichtiger Deckel zur Kontrolle und Entnahme von Substraten.
Automatische Prozesssteuerung und Netzwerkfähig.
Maße: | L: 850mm B: 900mm H: 1600mm |
Gewicht: | 80 KG |
Volumen: | 30 Liter |
Kammer: | variable Sonderanfertigungen (ab Ø 300mm) |
Kühlung | 4 Liter (elektromechanische Kühlfalle) |
Vakuumverbindung: | DIN 25 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | 10m³/h |
Elektronische Verbindung: | 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW |
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