Plasma Anlagen der Serie Q

Das Q steht für Quarzglaskammer.

Plasma Anlagen der Serie Q finden ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik und im Bereich der Analytik und Medizintechnik.

Anwendungsbeispiele: Reinigen und Veraschen von organischen Proben und Lacken in der Mikromechanik sowie für Silizium Wafer in der Halbleiterindustrie.

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