Plasma Anlagen der Serie Q
Das Q steht für Quarzglaskammer.
Plasma Anlagen der Serie Q finden ihren Einsatz vorwiegend in der Halbleitertechnik und im Bereich der Analytik und Medizintechnik.
Anwendungsbeispiele: Reinigen und Veraschen von organischen Proben und Lacken in der Mikromechanik sowie für Silizium Wafer in der Halbleiterindustrie.
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