Entwickelt für Anwendungen, die in Reinräumen durchgeführt werden müssen.
Modulweiser Aufbau und flexible Kammergrößen zeichnen diese Anlage aus.
Zahlreiche Optionen wie Drehteller und unterschiedliche Warenträger wissen bereits viele Kunden zu schätzen.
Beladung der Prozesskammer erfolgt vom Reinraum aus.
Entladung durch die Schleusentüre im Grauraum.
Maße: | L: 2095mm B: 800 H: 1450mm |
Gewicht: | ~ 300 KG |
Volumen: | 140 / 200 / 300 / 800 Liter |
Kammer: | 500mm Ø H: 700mm (140 Liter), 600mm Ø / H: 700mm (200 Liter), 700mm Ø, H: 800mm (300 Liter) |
Plasmaquelle: | 2,45GHz, 1200 Watt |
Inklusive: | 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich |
Kühlung: | 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle) |
Vakuumverbindung: | DIN 40 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | 75m³/h |
Elektronische Verbindung: | 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW |
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