AL140 / AL160 / AL300

Bietet 3 Optionen für die Kammergröße, abhängig von der Größe der Substrate oder der erforderlichen Prozessgeschwindigkeit.

Maße:

L: 1050mm B: 800mm H: 2020mm

Gewicht:

195 KG

Volumen:

140/160/300 Liter

Kammer:

Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 520mm

Mikrowellenausgang:

2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt

Inklusive:

1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)

Substrathalterung (optional):

Aluminium, angepasstes Design möglich

Vakuumverbindung:

DN 63 ISO-KF

Belüftung:

elektromagnetisches Ventil

Pumpensystem:

bis zu 250m³/h (integriert)

Kammertür:

Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür

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Plasma Parylene Systems GmbH

Dorfstr. 3 , 83026 Rosenheim / Pang

Zertifiziert nach

DIN EN ISO 9001:2015
DIN EN ISO 13485:2016

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