Bietet 3 Optionen für die Kammergröße, abhängig von der Größe der Substrate oder der erforderlichen Prozessgeschwindigkeit.
Maße: | L: 1050mm B: 800mm H: 2020mm |
Gewicht: | 195 KG |
Volumen: | 140/160/300 Liter |
Kammer: | Aluminium, L: 400mm B: 480mm H: 520mm |
Mikrowellenausgang: | 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt |
Inklusive: | 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) |
Substrathalterung (optional): | Aluminium, angepasstes Design möglich |
Vakuumverbindung: | DN 63 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | bis zu 250m³/h (integriert) |
Kammertür: | Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster, Schiebetür oder Universaltür |
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