AL 800 Compact

Das absolut größte AL-System, das wir zu bieten haben. Für die größten Substrate und Mengen.

Maße:

L: 1200mm B: 900mm H: 1800mm

Gewicht:

300 KG

Volumen:

800 Liter

Kammer:

L: 900 B: 920 H: 900

Mikrowellenausgang:

2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt

Inklusive:

1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)

Substrathalterung (optional):

Aluminium, angepasstes Design möglich

Vakuumverbindung:

DN 63 ISO-KF

Belüftung:

elektromagnetisches Ventil

Pumpensystem:

bis zu 250m³/h

Kammertür:

Schwenktür mit Fenster

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Plasma Parylene Systems GmbH

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