Plasma Reinigungs- und Polymerisationstool (Cluster System)

Ein roboterbetriebenes Mehrkammersystem für die komplexesten Beschichtungsprozesse in einer Niederdruckumgebung.

Maße:
L: 2000mm B: 1800mm H: 2000mm
Gewicht:
~ 320 KG
Volumen:
50 Liter
3 Kammern:
Aluminium, L: 300 B: 300 H: 300
Mikrowellenausgang / MHz:
2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt
Inklusive:
3x3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer)
Zusätzlich:
Luftschleusenrobotik, Beispielshalterung für die Luftschleuse
Substrathalterung (optional):
Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung:
DN 63 ISO-KF
Belüftung:
elektromagnetisches Ventil
3 Pumpensysteme:
40m³/h
Kammertür:
Wartungskammertüren

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