Plasma Reinigungs- und Polymerisationstool (Cluster System)
Ein roboterbetriebenes Mehrkammersystem für die komplexesten Beschichtungsprozesse in einer Niederdruckumgebung.
Ein roboterbetriebenes Mehrkammersystem für die komplexesten Beschichtungsprozesse in einer Niederdruckumgebung.
| Maße: | L: 2000mm B: 1800mm H: 2000mm |
| Gewicht: | ~ 320 KG |
| Volumen: | 50 Liter |
| 3 Kammern: | Aluminium, L: 300 B: 300 H: 300 |
| Mikrowellenausgang / MHz: | 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt |
| Inklusive: | 3x3 Gaskanäle (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer) |
| Zusätzlich: | Luftschleusenrobotik, Beispielshalterung für die Luftschleuse |
| Substrathalterung (optional): | Aluminium, angepasstes Design möglich |
| Vakuumverbindung: | DN 63 ISO-KF |
| Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
| 3 Pumpensysteme: | 40m³/h |
| Kammertür: | Wartungskammertüren |
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