Das größte System in unserer Q-Serie. Perfekt für mehrere Wafer mit Größen bis zu 200 mm Durchmesser.
Maße: | L: 760mm B: 775mm H: 775mm |
Gewicht: | 100 KG |
Volumen: | 20 Liter |
Kammer: | Quarzglas, 240mm Ø, B: 450mm |
Mikrowellenausgang: | 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt |
Inklusive: | 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) |
Substrathalterung (optional): | Aluminium, angepasstes Design möglich |
Vakuumverbindung: | DN 40 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | bis zu 40m³/h |
Kammertür: | Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten |
Wafergröße: | bis zu 200mm, bei einer anzahl von bis zu 50 Wafern |
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