Q 240S

Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen.

Maße:

L: 620mm B: 550mm H: 500mm

Gewicht:

75 KG

Volumen:

9 Liter

Kammer:

Quarzglas, 240mm Ø , B: 244mm

Mikrowellenausgang:

2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt

Inklusive:

1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)

Substrathalterung (optional):

Aluminium, angepasstes Design möglich

Vakuumverbindung:

DN 40 ISO-KF

Belüftung:

elektromagnetisches Ventil

Pumpensystem:

bis zu 25m³/h

Kammertür:

Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten

Wafergröße:

bis zu 150mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern möglich

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Plasma Parylene Systems GmbH

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