Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240S, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen.
Maße: | L: 620mm B: 550mm H: 500mm |
Gewicht: | 75 KG |
Volumen: | 9 Liter |
Kammer: | Quarzglas, 240mm Ø , B: 244mm |
Mikrowellenausgang: | 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt |
Inklusive: | 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) |
Substrathalterung (optional): | Aluminium, angepasstes Design möglich |
Vakuumverbindung: | DN 40 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | bis zu 25m³/h |
Kammertür: | Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten |
Wafergröße: | bis zu 150mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern möglich |
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