Q 240S

Ein System mit dem Durchmesser unseres Q240S, aber mit reduzierter Kammertiefe, um Platz zu sparen.

Maße:
L: 620mm B: 550mm H: 500mm
Gewicht:
75 KG
Volumen:
9 Liter
Kammer:
Quarzglas, 240mm Ø , B: 244mm
Mikrowellenausgang:
2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
Inklusive:
1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
Substrathalterung (optional):
Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung:
DN 40 ISO-KF
Belüftung:
elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem:
bis zu 25m³/h
Kammertür:
Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten
Wafergröße:
bis zu 150mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern möglich

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