Q150 (Tabletop Unit)

Leicht zu bedienen und einfach zu laden. Unsere Q-Serie bietet schnelle und zuverlässige Plasmabearbeitung.

Maße:	L: 500mm B: 550mm H: 370mm
Gewicht:	40 KG
Volumen:	4 Liter
Kammer:	Quarzglas, 150mm Ø, B: 244mm
Mikrowellenausgang:	2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt
Inklusive:	1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich)
Substrathalterung (optional):	Aluminium, angepasstes Design möglich
Vakuumverbindung:	DN 25 ISO-KF
Belüftung:	elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem:	bis zu 25m³/h
Kammertür:	Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten
Wafergröße:	bis zu 125mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern

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