Dies ist das Parylene-System. Es ist ein modulares System, das in zwei Teile unterteilt ist: Kammermodul und Verdampfermodul.
Maße: | L: 2400mm B: 960 H: 1460mm |
Gewicht: | ~ 350 KG |
Volumen: | 600 / 700 Liter |
Kammer: | 800mm Ø H: 1100mm (600 Liter) / 1300mm (700 Liter) |
Plasmaquelle: | 2,45GHz, 1200 Watt |
Inklusive: | 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich |
Kühlung: | 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle) |
Vakuumverbindung: | DIN 63 ISO-KF |
Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
Pumpensystem: | 75m³/h |
Elektronische Verbindung: | 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW |
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