Serie 3000 LV 800/1000

Dies ist das Parylene-System. Es ist ein modulares System, das in zwei Teile unterteilt ist: Kammermodul und Verdampfermodul.

Maße:	L: 2600mm B: 960 H: 1460mm
Gewicht:	~ 450 KG
Volumen:	800 / 1000 Liter
Kammer:	1150mm Ø H: 600mm (800 Liter), 1000mm Ø H: 1100
Plasmaquelle:	2,45GHz, 1200 Watt
Inklusive:	1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich
Kühlung:	8 Liter (elektromechanische Kühlfalle)
Vakuumverbindung:	DIN 63 ISO-KF
Belüftung:	elektromagnetisches Ventil
Pumpensystem:	75m³/h
Elektronische Verbindung:	3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW

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