Serie 3000 LV 800/1000
Dies ist das Parylene-System. Es ist ein modulares System, das in zwei Teile unterteilt ist: Kammermodul und Verdampfermodul.
| Maße: | L: 2600mm B: 960 H: 1460mm |
| Gewicht: | ~ 450 KG |
| Volumen: | 800 / 1000 Liter |
| Kammer: | 1150mm Ø H: 600mm (800 Liter), 1000mm Ø H: 1100 |
| Plasmaquelle: | 2,45GHz, 1200 Watt |
| Inklusive: | 1 Gaskanals (Gasverteilungssystem in der Kammer), bis zu 3 Gaskanäle sind möglich |
| Kühlung: | 8 Liter (elektromechanische Kühlfalle) |
| Vakuumverbindung: | DIN 63 ISO-KF |
| Belüftung: | elektromagnetisches Ventil |
| Pumpensystem: | 75m³/h |
| Elektronische Verbindung: | 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW |
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